ISOLDE VI

 

Schleifmaschine ausgerüstet mit 4 Vertikalspindeln und 2 schwenkbaren Spindeln zum Schleifen von Flächen und
Fasen der Siliziumblöcke vor dem Wafering

 

Leistungen

Auflösung 0,001 mm
Hochleistungsspindeln mit Direktantrieb
Stabiler Maschinenständer aus Stahl kombiniert mit Spannbeton
Automatische Messung und Steuerung
Automatische, halbautomatische oder manuelle Beladung

 

Anzahl Spindeln
4 (Flächen)
4 (Fasen)
Anzahl Roboter
2
Schleifoperationen und Schleifzugabe
Vorschleifen bis 1 mm/Seite
Fertigschleifen bis 0,08 mm/Seite
Fase 45° x 1,5 mm
Schleifwerkzeug
Diamantschleifscheibe ø 400 mm
Schneidgeschwindigkeit
bis 100 m/s
Produktion
bis 25 Blöcke/Stunde
Qualitätgarantie
Ebenheit innerhalb von 0,05 mm
Parallelität innerhalb von 0,05 mm
Geradheit innerhalb von 0,25°
Dicke zwischen 155,5 und 156,5 ±0,03 mm
Oberflächengüte ≤ Ra 0,08  ≤ Rz 0,8

 

Technische Daten

 

Anzahl Spindeln                                             4 Flächen, 2 Fasen

Spindle                                                           ø200×500 mm

Z-Achse                                                         120 mm

Rotationsgeschwindigkeit                              0-6000 U/min

Leistung                                                         4x 29/2x 5 kW

Breite Max.                                                    170 mm

Höhe Max.                                                     160 mm

Schleifwerkzeuge                                          CBN/Diamant/Al2O3

Schleifscheibe                                               ø400/ø250 mm

Vorschub                                                       0-4000 mm/min

Steuerung                                                     Siemens S7/1500/TIA

Totalgewicht                                                  10 t

Schleifzugabe                                                Max. 1 mm

Auflösung                                                      0,001 mm

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